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| 产品特性：N | 加工定制：是 | 品牌：螣芯科技 |
| 型号：URE-2000/A | 用途：光刻 | 订货号：N |
| 货号：N | 别名：曝光机 | 规格：N |
| 是否跨境货源：否 |
产品名称：URE-2000S/A型紫外光刻机
主要技术指标： | |
| 曝光面积：150mm×150mm | |
| 分辨力：1μm（胶厚1.5 μm的正胶） | |
| 对准精度：±3μm（双面） | |
| 胶厚：500μm（SU8胶） | |
| 掩模尺寸:3inch、4 inch、5 inch、7 inch | |
| 样片尺寸：直径Ф30mm--Ф150mm 厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm) | |
| 照明均匀性：±3.5%Ф100mm) ±5.5%(Ф150mm) | |
| 汞灯功率：1000W（直流） | |
| 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° |
产品名称：URE-2000/35型紫外光刻机
主要技术指标： | |
| 曝光面积：100mm×100mm | |
| 分辨力：1um（胶厚1.5μm的正胶） | |
| 对准精度：±0.8μm | |
| 胶厚：300μm（SU8胶） | |
| 掩模尺寸:2.5 inch、3 inch、4 inch、5 inch | |
| 样片尺寸：直径Ф15mm--Ф100mm、厚度0.1mm--6mm(可扩展为15mm)； | |
| 照明均匀性：±4%（Ф100mm 范围） | |
| 汞灯功率：350W（直流） | |
| 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° |
产品名称：URE-2000/A型紫外光刻机
主要技术指标： |
| 曝光面积：150mm×150mm |
| 分辨力：0.8～1μm（胶厚1.5μm的正胶） |
| 对准精度：±0.6μm |
| 胶厚：500μm（SU8胶） |
| 掩模尺寸:3inch、4inch、5inch、7inch |
| 样片尺寸：直径Ф15mm-Ф150mm、厚度0.1mm-6mm |
| 照明均匀性：±3.5%Ф100mm)；±5.5%(Ф150mm) |
| 汞灯功率：1000W（直流） |
| 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° |
产品名称：URE-2000/B型紫外光刻机 |
主要技术指标： |
| 曝光面积：110mm×110mm |
| 分辨力：0.8～1μm（胶厚1.5μm的正胶） |
| 对准精度：±0.6μm |
| 胶厚：600μm（SU8胶） |
| 掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch |
| 样片尺寸：直径Ф15mm-Ф100mm、厚度0.1mm-6mm |
| 照明均匀性：±3.5%Ф100mm)；±5.5%(Ф150mm) |
| 汞灯功率：1000W（直流） |
| 掩模相对于样片运动行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6° |
