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| 加工定制：是 | 品牌：德国SENTECH | 型号：SI 500 PPD |
| 用途：等离子体增强化学气相沉积系统 | 订货号：n | 货号：n |
| 别名：11111 | 规格：11111 | 是否跨境货源：否 |
等离子体增强化学气相沉积系统/PECVD
德国SENTECH公司SI 500 PPD
主要用于SiO2，SiOxNy，SiNy，a-Si，SiC薄膜的沉积 。适用于2"--8" 样片的薄膜沉积。
- 电源13.56 MHz, 600 W
- 可选低频应力调节
- 基底温度从室温到350℃可控
- 配置预真空锁/Loadlock，带有取放机械手
- 可选在线椭偏测量(SE 401, SE 801)
更多技术资料联系电话：13122976482
