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EVG晶圆键合机EVG501/510/520/540

EVG晶圆键合机EVG501/510/520/540

主要应用于MEMS制造、微流体芯片、化合物半导体的薄片处理、晶圆级***封装以及3D互联、TSV工艺。

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  • 发货地:上海 青浦区
  • 发货期限:100天内发货
  • 供货总量: 10台
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  • 上海 上海
  • 半导体前道设备,半导体微组装设备,半导体检测设备,材料分析检测设备

联系方式

  • 联系人:
    娄先生
  • 职   位:
    经理
  • 手   机:
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  • 地   址:
    上海 上海 青浦区 海盈路
产品特性:晶圆键合加工定制:是品牌:EVG
型号:13122976482用途:晶圆键合别名:晶圆键合机
规格:EVG501

联系方式:13122976482

主要应用于MEMS制造、微流体芯片、化合物半导体的薄片处理、晶圆级***封装以及3D互联、TSV工艺。



化降低客户总拥有成本(TCO)

键合温度450度,压力10KN

***的硅片低压契型补偿系统以提高良率

温度均匀性: <+/- 1% ;压力均匀性:<+/- 5%

工艺菜单与其他键合系统通用

高真空度键合腔室

开放式腔室设计便于快速转换和维护

基于Windows 的控制软件和操作界面

最小化占地占地面积

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